XL*, Hochvakuum-Eckventile, druckluftbetätigt

XL*, Hochvakuum-Eckventile, druckluftbetätigt
A high vacuum angle valve with initial exhaust valve with adjustable flow rate.
[Features]
· Initial exhaust valve and main exhaust valve are integrated (two-step flow rate control valve).
· Allows for compact system designs and reduced piping.
· Prevents dust turbulence inside the chamber when exhausting.
· Prevents pumps from running when overloaded.
· Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
· Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
· Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.

(i)Hinweis

  • ■ SMC Product Line
    Webpages for products currently without individual pages on this site will be released on an ad-hoc basis.

    ■ Products Planned for Online Release
    Air cylinder-related product pages will be released on this site on an ad-hoc basis.
    CQ2/MG types, etc., are already available.
    *Vacuum equipment, FRLs, solenoid valves, etc., will also be released on dedicated pages on this site on an ad-hoc basis.
    *The information above is correct as of December 2018.
  • The product images may be representative images only. Refer to the manufacturer's catalog for shape details.

Teilenummer

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zu dem gesuchten Artikel

Teilenummer
XLD-25L-M9//
XLD-40
XLD-40L-M9//
XLD-50M
Teilenummer
Standard-Stückpreis
MindestbestellmengeMengenrabatt
Reguläre
Versanddauer
?
Flansch-Nennmaß Schallgeschwindigkeit, Leitwert Richtung der Steueröffnung Teilenummer Schalter

884.79 €

1 26 Arbeitstage 2514L/SFlanschfläche, hintenOhne Signalgeber (mit eingebautem Magnet)

1,283.57 €

1 39 Arbeitstage 4045L/SFlanschseiteOhne Signalgeber (kein eingebauter Magnet)

1,060.13 €

1 39 Arbeitstage 4045L/SFlanschfläche, hintenOhne Signalgeber (mit eingebautem Magnet)

1,466.93 €

1 26 Arbeitstage 5080L/SFlansch rechtsOhne Signalgeber (kein eingebauter Magnet)

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Grundlegende Informationen

Modell Luftbetätigtes Vakuumventil Anwendung 1 Konus Montageausrichtung Direkt
Anzahl der Anschlüsse 2-Wegeventil Schalterausführung 2 Positionen, normalerweise geschlossen Rohranschluss, Ausführung Flansch
Flansch-Modell KF Dichtungsart Balgdichtung Temperaturbereich(°C) 5 bis 60
Anzahl der Schalter Kein Schalter Dichtungsmaterial FKM 1349-80 Anzahl der Leckagen(Pa·m3/s) Innen: 1,3 × 10-10, Außen: 1,3 × 10-11
Gehäuse-Oberflächenbehandlung Außen:Hartanodisiertes Aluminium, Innen: Basiswerkstoff Position Dichtungswechsel Ohne Heizelement Ja/Nein Ohne

Technischer Support