Vakuumventile（Rohranschluss, Ausführung：Flansch）

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  Hochvakuum-Ventile / rostfreier Stahl / Ausführung wählbar / XMA, XYA

  SMC

  A vacuum valve with a pressure balanced structure.
  [Features]
  · Body material: SCS13 (SUS304 equivalent). Made of stainless steel.
  · Precision-cast single-piece structure which helps prevent gas accumulation.
  · Interchangeable with XL Series aluminum high-vacuum angle valves.
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.

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  ab∗ ：	520.09 €
  Minimum Lieferzeit ：	4 Arbeitstage

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  XLH, manuelles Hochvakuum-Eckventil, Federbalg gedichtet

  SMC

  A high vacuum angle valve with a pressure-balanced structure that enables an unrestricted exhaust direction.
  [Features]
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.
  · Low actuation torque (0.5 N·m or less).
  · Spring provides a standard sealing load.
  · Handle height remains the same regardless of whether valve is open or closed.
  · Equipped as standard with an indicator for confirming if the valve is open or closed.
  · Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
  · Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
  · Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.

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  ab∗ ：	440.59 €
  Minimum Lieferzeit ：	4 Arbeitstage

  *Stückpreis Standardkonfiguration

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  XLA-2, Hochvakuum-Eckventil, Aluminium, Drucklos geschlossen / Faltenbalgdichtung

  SMC

  Vacuum regulator with low outgassing.
  [Features]
  · Aluminum body.
  · Replaceable bellows.
  · Uniform baking temperature.
  · Lightweight and compact.
  · Little heavy metal contamination.

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  ab∗ ：	437.59 €
  Minimum Lieferzeit ：	4 Arbeitstage

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  Eckventile / L-förmiges, gerades Hochvakuumventil aus Edelstahl, zweistufig gesteuert, einfachwirkend, Faltenbalg, O-Ring-Dichtung, XMD/XYD

  SMC

  Ein Vakuumventil zur Verhinderung des Betriebs von Pumpen bei Überlastung.
  [Eigenschaften]
  · Vor- und Hauptauslassventil sind integriert (zweistufiges Durchflussregelventil)
  · Ermöglicht kompakte Systemdesigns und reduzierte Verrohrung.
  · Verhindert Staubverwirbelungen im Inneren der Kammer beim Absaugen.
  · Einstellbare Durchflussmenge für das erste Auslassventil.
  · Material des Gehäuses: SCS13 (entspricht SUS304).
  · Präzisionsgegossene, einteilige Struktur, die hilft, Gasansammlungen zu verhindern.
  · Die Serie XM ist austauschbar mit den Aluminium-Hochvakuum-Eckventilen der Serie XL.

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  ab∗ ：	819.61 €
  Minimum Lieferzeit ：	26 Arbeitstage

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  Hochvakuum-Ventile / rostfreier Stahl / manuelle Betätigung / Ausführung wählbar / XMH, XYH

  SMC

  A vacuum valve with a pressure-balanced structure that enables an unrestricted exhaust direction.
  [Features]
  · Bellows type is particulate-free and cleaned.
  · Low actuation torque (0.5 N·m or less).
  · Spring provides a standard sealing load.
  · Handle height remains the same regardless of whether valve is open or closed.
  · Equipped as standard with an indicator for confirming if the valve is open or closed.
  · Body material: SCS13 (SUS304 equivalent).
  · Precision-cast single-piece structure which helps prevent gas accumulation.
  · The XM Series is interchangeable with XL Series aluminum high vacuum angle valves.

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  ab∗ ：	545.09 €
  Minimum Lieferzeit ：	4 Arbeitstage

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  Aluminium-Hochvakuum-Eckventil, doppeltwirkend / Faltenbalgabdichtung, Serie XLC

  SMC

  [Eigenschaften]
  · Gehäuse aus Aluminium
  · Gleichmäßige Backtemperatur
  · Leicht und kompakt
  · Geringe Ausgasung
  · Geringe Schwermetallverschmutzung
  · Beständig gegen Fluorkorrosion
  · Auswechselbarer Faltenbalg (Faltenbalg-Dichtungstyp)

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  ab∗ ：	462.87 €
  Minimum Lieferzeit ：	26 Arbeitstage

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  Aluminium-Hochvakuum-Eckventile, doppeltwirkend, O-Ring-Dichtung, Serie XLG

  SMC

  [Eigenschaften]
  · Gehäuse aus Aluminium
  · Gleichmäßige Backtemperatur
  · Leicht und kompakt
  · Geringe Ausgasung
  · Geringe Schwermetallverschmutzung
  · Beständig gegen Fluorkorrosion
  · Auswechselbarer Faltenbalg (Faltenbalg-Dichtungstyp)

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  ab∗ ：	472.09 €
  Minimum Lieferzeit ：	26 Arbeitstage

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  XL*, Hochvakuum-Eckventile, druckluftbetätigt

  SMC

  A high vacuum angle valve with initial exhaust valve with adjustable flow rate.
  [Features]
  · Initial exhaust valve and main exhaust valve are integrated (two-step flow rate control valve).
  · Allows for compact system designs and reduced piping.
  · Prevents dust turbulence inside the chamber when exhausting.
  · Prevents pumps from running when overloaded.
  · Its low outgassing enables use with a smaller pump capacity and helps reduce exhaust time.
  · Does not contain heavy metals such as Ni (nickel) or Cr (chrome).
  · Low sputtering yield minimizes heavy metal contamination of wafers.

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  ab∗ ：	884.79 €
  Minimum Lieferzeit ：	26 Arbeitstage

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  Edelstahl-Hochvakuum-Eckventile / In-Line-Ventile, doppeltwirkend / Faltenbalgabdichtung, Serie XMC/XYC

  SMC

  Vakuumventil mit präzisionsgegossener, einteiliger Struktur, die hilft, Gasansammlungen zu verhindern.
  [Eigenschaften]
  · Faltenbalgtyp ist partikelfrei und gereinigt.
  · Druckausgeglichene Struktur.
  · Material des Gehäuses: SCS13 (entspricht SUS304).
  · Die Serie XM ist austauschbar mit den Aluminium-Hochvakuum-Eckventilen der Serie XL.

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  ab∗ ：	626.70 €
  Minimum Lieferzeit ：	26 Arbeitstage

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