Vakuumventile（Montageausrichtung：Direkt）

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  XL*, Hochvakuum-Eckventile, druckluftbetätigt

  SMC

  Hochvakuum-Winkelventile der Serie XL besitzen eine exzellente Wärmeleitfähigkeit und gewährleisten so gleichmäßige Temperatur am gesamten Ventilkörper und merkliche Reduzierung der Kondensation von Gasen im Ventil. Das Ventil enthält keine Schwermetalle wie Ni (Nickel) oder Cr (Chrom) und geringe Verdampfung reduziert die Verunreinigung von Halbleiterplättchen mit Schwermetallen.

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  ab∗ ：	884.79 €
  Minimum Lieferzeit ：	22 Arbeitstage

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  ZP2V, Vakuumsicherungsventil

  SMC

  Maschinenbauer, die bei Handling- bzw. Pick-and Place-Anwendungen Vakuumtechnologie einsetzen, können jetzt mit unserem neuen Vakuumsicherungsventil der Serie ZP2V das Vakuum im Gesamtsystem auch dann noch Aufrecht erhalten, wenn ein oder mehrere Sauger ausfallen.Ursprünglich wurde dieses neue Ventil für die Halbleiterindustrie entwickelt und ist so konzipiert, dass es die Saugleitung schließt, wenn eine Leckage am Sauger auftritt, die darauf zurückzuführen ist, dass der Sauger nicht korrekt auf dem Werkstück aufliegt oder nicht mit einem Werkstück belegt ist. Außerdem gehören unerwünschte Kratzer oder Spuren auf dem Werkstück nun der Vergangenheit an, da keine zum Aufbau des Vakuums erforderlichen mechanischen Teile am Ende des Saugnapfes, wie zum Beispiel Zapfen von Tastventilen das Werkstück berühren. Die Serie ist ideal für die Verwendung mit einem Sauger, wie auch in Anwendungen in Verbindung mit mehreren Saugern geeignet, in denen der Zusammenbruch des Vakuums im Gesamtsystem verhindert und das Werkstück beim Ausfall eines Saugers von den restlichen Saugern gehalten werden soll. Doch damit nicht genug: Die Serie ZP2V bietet dem Nutzer auch eine Kosten- und Zeiteinsparung, da teure Sensoren oder eine SPS (Speicherprogrammierbare Steuerung) nicht erforderlich sind. Außerdem bietet diese Serie eine erhebliche Arbeitskosteneinsparung, da der Regelkreis an Werkstücke mit unterschiedlichen Formen angepasst werden kann.

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  ab∗ ：	12.45 €
  Minimum Lieferzeit ：	4 Arbeitstage

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  XLA-2, Hochvakuum-Eckventil, Aluminium, Drucklos geschlossen / Faltenbalgdichtung

  SMC

  Hochvakuum-Winkelventile der Serie XL besitzen eine exzellente Wärmeleitfähigkeit und gewährleisten so gleichmäßige Temperatur am gesamten Ventilkörper und merkliche Reduzierung der Kondensation von Gasen im Ventil. Das Ventil enthält keine Schwermetalle wie Ni (Nickel) oder Cr (Chrom) und geringe Verdampfung reduziert die Verunreinigung von Halbleiterplättchen mit Schwermetallen.

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  ab∗ ：	437.59 €
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  Eckventile / L-förmiges, gerades Hochvakuumventil aus Edelstahl, zweistufig gesteuert, einfachwirkend, Faltenbalg, O-Ring-Dichtung, XMD/XYD

  SMC

  Ein Vakuumventil zur Verhinderung des Betriebs von Pumpen bei Überlastung.
  [Eigenschaften]
  · Vor- und Hauptauslassventil sind integriert (zweistufiges Durchflussregelventil)
  · Ermöglicht kompakte Systemdesigns und reduzierte Verrohrung.
  · Verhindert Staubverwirbelungen im Inneren der Kammer beim Absaugen.
  · Einstellbare Durchflussmenge für das erste Auslassventil.
  · Material des Gehäuses: SCS13 (entspricht SUS304).
  · Präzisionsgegossene, einteilige Struktur, die hilft, Gasansammlungen zu verhindern.
  · Die Serie XM ist austauschbar mit den Aluminium-Hochvakuum-Eckventilen der Serie XL.

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  ab∗ ：	819.61 €
  Minimum Lieferzeit ：	26 Arbeitstage

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  Hochvakuum-Ventile / rostfreier Stahl / manuelle Betätigung / Ausführung wählbar / XMH, XYH

  SMC

  Die Serie XM (Hochvakuum-Winkelventil) und XY (Hochvakuum-Rohrventil) verwendet als Gehäusematerial SUS (Edelstahl). XM und XL haben den gleichen Aufbau, aber das Gehäuse des XL ist aus Aluminium. Serie XM und Serie XL sind austauschbar. Das präzise Gießen in Einzelanfertigung bei Serie XY schließt Defekte wie Gaseinschlüsse aus und stellt sicher, dass das Gehäuse keine porösen Stellen aufweist.

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  ab∗ ：	545.09 €
  Minimum Lieferzeit ：	4 Arbeitstage

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  Hochvakuum-Ventile / rostfreier Stahl / Ausführung wählbar / XMA, XYA

  SMC

  Die Serie XM (Hochvakuum-Winkelventil) und XY (Hochvakuum-Rohrventil) verwendet als Gehäusematerial SUS (Edelstahl). XM und XL haben den gleichen Aufbau, aber das Gehäuse des XL ist aus Aluminium. Serie XM und Serie XL sind austauschbar. Das präzise Gießen in Einzelanfertigung bei Serie XY schließt Defekte wie Gaseinschlüsse aus und stellt sicher, dass das Gehäuse keine porösen Stellen aufweist.

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  ab∗ ：	520.09 €
  Minimum Lieferzeit ：	4 Arbeitstage

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  Aluminium-Hochvakuum-Eckventil, doppeltwirkend / Faltenbalgabdichtung, Serie XLC

  SMC

  [Eigenschaften]
  · Gehäuse aus Aluminium
  · Gleichmäßige Backtemperatur
  · Leicht und kompakt
  · Geringe Ausgasung
  · Geringe Schwermetallverschmutzung
  · Beständig gegen Fluorkorrosion
  · Auswechselbarer Faltenbalg (Faltenbalg-Dichtungstyp)

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  ab∗ ：	462.87 €
  Minimum Lieferzeit ：	26 Arbeitstage

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  Aluminium-Hochvakuum-Eckventile, doppeltwirkend, O-Ring-Dichtung, Serie XLG

  SMC

  [Eigenschaften]
  · Gehäuse aus Aluminium
  · Gleichmäßige Backtemperatur
  · Leicht und kompakt
  · Geringe Ausgasung
  · Geringe Schwermetallverschmutzung
  · Beständig gegen Fluorkorrosion
  · Auswechselbarer Faltenbalg (Faltenbalg-Dichtungstyp)

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  ab∗ ：	472.09 €
  Minimum Lieferzeit ：	26 Arbeitstage

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  Edelstahl-Hochvakuum-Eckventile / In-Line-Ventile, doppeltwirkend / Faltenbalgabdichtung, Serie XMC/XYC

  SMC

  Vakuumventil mit präzisionsgegossener, einteiliger Struktur, die hilft, Gasansammlungen zu verhindern.
  [Eigenschaften]
  · Faltenbalgtyp ist partikelfrei und gereinigt.
  · Druckausgeglichene Struktur.
  · Material des Gehäuses: SCS13 (entspricht SUS304).
  · Die Serie XM ist austauschbar mit den Aluminium-Hochvakuum-Eckventilen der Serie XL.

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  ab∗ ：	626.70 €
  Minimum Lieferzeit ：	26 Arbeitstage

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  XSA, Stromlos geschlossenes, Hochvakuum-Elektromagnetventil

  SMC

  Mit dem optimierten Hochvakuum-Magnetventil der Serie XSA 'besiegeln' wir unsere Führungsposition. Das stromlos geschlossene Magnetventil der Serie XSA bietet eine hohe Dichtwirkung bei minimaler Leckage und einem min. Betriebsdruck (OUT-Seite) von nur 1 x 10-6 Pa (abs). Die neue Serie ist besonders vielseitig und verfügt wahlweise über Klemmverbindungen oder frontdichtende Verschraubungen. Darüber hinaus ist sie jetzt mit einer Faston-Klemme ausgestattet und ermöglicht eine breite Auswahl an möglichen Nennspannungen. Die Feder wurde in das Gehäuse integriert. Dadurch wird der Kontakt reduziert und es werden weniger Partikel gebildet. Korrosionsbeständig, effizient, kostengünstiger Betrieb, geringes Gewicht: Alle diese Vorteile der neuen Serie XSA stehen im Zeichen unserer Verpflichtung, neue Innovationen zu entwickeln, die für Energieeinsparung sorgen, um SMC-Kunden einen klaren Wettbewerbsvorteil zu verschaffen. Die Serie eignet sich für verschiedene Anwendungen, wie z. B. Gaseinspritz-Vorgänge in Prozesskammern und für Arbeiten mit Edelgas in der Lebensmittelindustrie, Medizintechnik, Halbleiter- und Photovoltaik-Industrie sowie in der LCD-Herstellung.

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  Vakuumregler für Vakuumpumpe (mit Vakuumschalter) Serie VQP

  NIHON PISCO

  Vacuum controller, optimal for controlling large flow rates
  Vacuum switch specification (31‑mm wide, dual‑output vacuum switch)

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  ab∗ ：	253.78 €
  Minimum Lieferzeit ：	12 Arbeitstage

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  XLH, manuelles Hochvakuum-Eckventil, Federbalg gedichtet

  SMC

  Hochvakuum-Winkelventile der Serie XL besitzen eine exzellente Wärmeleitfähigkeit und gewährleisten so gleichmäßige Temperatur am gesamten Ventilkörper und merkliche Reduzierung der Kondensation von Gasen im Ventil. Das Ventil enthält keine Schwermetalle wie Ni (Nickel) oder Cr (Chrom) und geringe Verdampfung reduziert die Verunreinigung von Halbleiterplättchen mit Schwermetallen.

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  XVD2, Hochvakuum-Ventil, sanftes Belüften

  SMC

  Entlüftungsventile der Serie XVD2 sind Ventile vom Typ N.C. mit den Anschlussarten VCR (Stecker & Buchse) und Swagelok. Die Größe des Anschlusses beträgt 1/4" und die Bohrung 3mm. Verwendete Materialien sind SUS316L (Gehäuse und Faltenbalg ), SUS304 (Membran) und FKM (Ventil und äußere Dichtung).

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  ab∗ ：	2,169.57 €
  Minimum Lieferzeit ：	17 Arbeitstage

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